Analyse dünnster Beschichtungen im Nanometerbereich

Oberflächen 10. 03. 2015
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Neues Schichtdickenmessgerät von Oxford Instruments

Oxford Instruments führt mit MAXXI 6 ein neues Messgerät für die Schichtdickenmessung und Materialanalyse ein. Dieses neue Modell im Mid-Range- und High-End-Bereich basiert auf der Methode der Röntgenfluoreszenzanalyse, verfügt über einen hochauflösenden Silizium-Drift-Detektor (SDD) und misst dünnste Beschichtungen im Nanometerbereich sowie die Elementzusammensetzung im Spurenbereich.

Die Schichtdickenmessung, basierend auf der Röntgenfluoreszenz (RFA), ist eine aner­kannte und bewährte Analysetechnik. Sie bietet eine leicht zu bedienende, schnelle und zerstörungsfreie Analyse mit minimaler Probenvorbereitung. Das neue Mess­gerät MAXXI 6 von Oxford Instruments kann feste­ oder flüssige Stoffe über einen weiten Elementbereich, von Aluminium (13Al) bis Uran (92U), analysieren. In Kombination mit einem hochauflösenden Silizium-Drift-Detektor (SDD) können dünnste Beschichtungen bis in den Nanometer­bereich und die Elementzusammensetzung im Spurenbereich gemessen werden.

Dies ist beispielsweise in der Galvanotechnik oder bei der Leiterplattenherstellung erforderlich. Acht einstellbare Blenden ­decken alle Anwendungsanforderungen ab, der SDD bietet eine optimale Effizienz im vollen Energiebereich mit einer Energieauflösung bis herunter zu 140 eV. Mit einer unbegrenzten Elementauswahl und Schichtstruktur für die Schichtdicken- und Materialanalyse gewährleistet das Gerät eine durchgehend hohe Produktionsqualität in den Bereichen Metallverarbeitung, Elektronik, Konformitätsprüfung, Metall­legierungen und alternative Energien.

Analyse in drei Schritten

Die Schichtdickenanalyse mit dem MAXXI 6 erfolgt in nur drei Schritten:

  • Platzieren der Probe in der Proben­kammer
  • Wahl des Messpunkts
  • Starten der Messung

Die intuitiv bedienbare Software basiert auf WindowsTM 7. Mehrere Arten der Analyse, wie die empirische Kalibrierung, die FP-basierte Berechnung oder die vorinstal­lierte Kalibrierung für RoHS und Edelmetalle erleichtern die Analyse. Auch die Hardware trägt zur einfachen Handhabung bei: Ein Standard-PC oder Notebook lässt sich ohne zusätzliche Hard- oder Firmware über USB an das Gerät anschließen. Die ungewöhnlich große, geschlitzte Probenkammer mit einem Innenvolumen von 500 mm x 450 mm x 170 mm ist für eine große Vielfalt von Proben in Standard- und Übergröße geeignet. Der programmierbare Probentisch ermöglicht außerdem eine auto­matisierte Messung und maximiert den Verfahrbereich und die Geschwindigkeit des Tisches.

Nach den Worten von Olaf Neuhausen, Geschäftsführer der Oxford Instruments Roent­genanalytik GmbH, dem Kompetenzzentrum von Oxford Instruments für die Benchtop-RFA-Technologie, war es das Ziel, ein hochwertiges Schichtdickenmessgerät zu entwickeln, ohne den Bedien­komfort einzuschränken. Das MAXXI 6 bietet ihm zufolge eine Kombination von Leistungsmerkmalen, die bisher auf dem Markt in dieser Form nicht erhältlich war. Das Gerät wird in Deutschland hergestellt, ist von der PTB (Physikalisch Technische Bundesanstalt)­ zugelassen und bietet ein Höchstmaß an Strahlenschutz.

Über Oxford Instruments Plc

Oxford Instruments entwickelt, liefert und wartet Geräte und Systeme der Spitzen­technologie mit dem Schwerpunkt auf Forschung und Industrieanwendungen. Das Unternehmen liefert die notwendigen Lösungen für Fortschritte in der physikalischen Grundlagenforschung und ihre Übertragung in wirtschaftliche Anwendungen in der Nanotechnologie. Innovation ist seit mehr als 50 Jahren die treibende Kraft hinter dem Wachstum und dem Erfolg von Oxford Instruments. Die Strategie des Unternehmens ist es, eine erfolgreiche Vermarktung dieser Ideen zu bewirken, indem sie zeitnah und kundenorientiert auf den Markt gebracht werden.

Text zum Titelbild: Schichtdickenmessgerät MAXXI6 auf Basis der Röntgenfluoreszenz verfügt über einen hochauflösenden SDD und misst dünnste Beschichtungen im Nanometerbereich sowie die Elementzusammensetzung im Spurenbereich

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