Das österreichische High-Tech-Unternehmen amcoss GmbH bietet spezialisierte, aber dennoch hochflexible Anlagen für das kostenoptimierte Belacken und Entwickeln von Wafern und anderen Substraten mit lichtempfindlichen Fotolacken oder anderen, insbesondere auch zähen Substanzen.
Mit unseren amc Anlagen realisieren wir für unsere Kunden nicht nur perfekt auf individuelle Anforderungen ausgerichtete und flexibel anpassbare Verfahrens- und Prozesslösungen, sondern ermöglichen dies gleichzeitig bei maximaler Kosteneinsparung und hervorragendem Return-on-Investment, sagt CEO David Erne. Mit amcoss gebe es kein Entweder-Oder; amcoss-Kunden müssen sich nach seinen Worten nicht zwischen optimierten Prozessen mit höchster Produktqualität und einer positiven Kosten-Nutzen-Kalkulation entscheiden – bei amcoss bekämen sie beides kombiniert aus einer Hand.
Modular, flexibel, kundenspezifisch – Spin Coater & Developer der amc-Serie
Die ausgeklügelten Produktmerkmale der amc-Belacker sind darauf ausgelegt, die Präzision und somit die Prozessqualität zu perfektionieren, den Durchsatz zu erhöhen und Produktionskosten zu reduzieren. Einige Beispiele sind die Waferzentrierung on-the-move direkt vor dem Prozesstopf ohne separate Positionierstation, die Achsen mit servogesteuerter Positionierung für individuelle Dispense-Raten und -Pfade sowie das Handling vieler verschiedener Substrat- und Wafertypen ohne Umbau.
Neben diesen Aspekten ist auch die Flexibilität ein wichtiges Thema. Jeder Kunde hat die Möglichkeit, die Maschinenausstattung individuell aus einer großen Anzahl an Beschichtungs-, Entwickler- und Temperaturmodulen, diversen Optionen zur Distanzkontrolle und anderen optionalen Modulen zu wählen. Die Basisplattformen sind laut David Erne am Ende das Einzige, was bei unterschiedlichen Kunden identisch sei. Einen Standard in der Maschinenkonfiguration gebe es bei amcoss nicht. In der amc-Maschinenserie stehen drei verschieden große, kompakte Basisplattformen für eine unterschiedliche Anzahl an montierten Prozessmodulen zur Verfügung: amc 1000+, amc 2000+ und amc 2500+.
Zudem kann jede Anlage zu jedem beliebigen Zeitpunkt verändert oder aufgerüstet werden. Dazu ist jede Anlage standardmäßig so vorbereitet, dass weitere Prozessmodule und Hotplates einfach eingebaut werden können. Bereits mehrfach haben sich Kunden von amcoss-Anlagen nach dem Kauf dazu entschieden und konnten von diesem Feature enorm profitieren.
Dass die amcoss-Anlagen besonders sicher und anwenderfreundlich sind, versteht sich nahezu von selbst. Dazu gehört auch die offen programmierte amc-Software. Sie ist eines DER Herzstücke der amc-Belacker und in Funktion und Handhabung unerreicht. Selbst bei größeren Prozessänderungen ist kein Spezialprogrammierwissen notwendig und eine einfache und komfortable Rezepterstellung machbar. Eine benutzerfreundliche und selbsterklärende Oberfläche unterstreicht die einfache Bedienbarkeit durch den Maschinenführer. Dieser kann mit ein paar wenigen Button-Clicks die Maschine ohne die Hilfe eines Softwareexperten selbst teachen, da alle relevanten Teachingmöglichkeiten bereits in derselben Software-Plattform abgedeckt sind.
amcoss amc r&d Belacker für die Einzel- und Kleinstmengenfertigung
Für die Beschichtung von Wafern im Durchmesserbereich von zwei Zoll bis 450 mm in Kleinstmengen, beispielsweise in Laboren für Forschung und Entwicklung, bietet amcoss den amc r&d Spin Coater und Developer mit manueller Substrathandhabung. Hier werden die gleichen qualitativ höchstwertigen Prozessmodule wie in den vollautomatischen Belackern der amc-Serie verbaut. Es fehlt einzig der Roboter für das Waferhandling. Die Art und Anzahl an Prozessmodulen bestimmt der Kunde, sodass jede Anlage einzigartig ist und genau den Kundenanforderungen entspricht. Das integrierte Waferzentrierungssystem ist manuell bedienbar. Mit der Reduzierung auf das Wesentliche kann die amcoss GmbH mit dem amc r&d Belacker eine Anlage anbieten, die auch für geringe Stückzahlen einen wirtschaftlichen Betrieb zulässt.
Neben den Spin Coatern und Developern der amc-Serie entwickelt und produziert das Unternehmen eine Reihe von Anlagen und Geräten für Spezialanwendungen in Produktionsprozessen oder auch für kleine Stückzahlen in Laboren oder Einzelfertigungen.
amcoss-Einzelmaschine für HMDS-Beschichtung
Bei der HMDS-Bedampfung stoßen herkömmliche Coater-Anlagen verfahrenstechnisch sehr oft an ihre Grenzen. Die amc hmds200-Anlage dagegen ist eine eigens für die HMDS-Beschichtung – auch in MEMS-Anwendungen - entwickelte Batch-Maschine. Ein sehr großer Vorteil ist die Kassettenstation, die in zwei Kassetten insgesamt 50 Wafer bis zu einer Größe von 200 mm aufnehmen und gleichzeitig dem HMDS-Prozess zuführen kann. Im Vergleich zur Einzelprozessierung erhöht sich der Durchsatz dadurch enorm, was die Wirtschaftlichkeit spürbar erhöht. Außerdem ist eine Beschädigung empfindlicher Substrate, die beim Einzelwaferhandling entstehen kann, ausgeschlossen. Zwei Detektoren erkennen und registrieren zur Lotüberwachung die Anzahl der Kassetten.
In der HMDS-Prozesskammer ist ein HMDS-Verdampfer mit kontrolliertem N2-Fluss integriert. Außerdem wird der HMDS-Gehalt ständig überwacht und es erfolgt eine kontrollierte Absaugung. Dank dieser Features ist der Prozess jederzeit kontrollier- und beherrschbar, was die Sicherheit erhöht und Fehlproduktionen sowie Ausschuss und damit Fehlerkosten senkt. Gesteuert wird der gesamte Prozess über die bereits langjährig bewährte amcoss amc-Software, die auch in den amc-Belackern zum Einsatz kommt. Mit ihr ist eine zuverlässige Prozesskontrolle und einfache, komfortable Rezepterstellung möglich.
Über amcoss
Die amcoss GmbH ist ein innovatives, kleines High-Tech-Unternehmen in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik. Langjährige Erfahrung und ein enormes Fachwissen besitzt amcoss im Bereich der Wafer- und Substratbelackung. Namhafte Hersteller aus der Halbleiter- und Mikrosystemtechnologie zählen zu ihren Kunden. Das Unternehmen entwickelt und baut Substrat-Belackungs- und Entwickleranlagen, die auch für komplexe Spezialanwendungen geeignet sind. Außerdem bietet amcoss Engineering-Services und umfassende Reparaturdienstleistungen, inklusive Refurbishment von Spezialbeschichtungen für Qualitätskomponenten für Optik und Mechatronik.
Firmensitz ist in Feldkirch, Österreich, von wo das international tätige Unternehmen seine Produkte und Dienstleistungen in viele Länder der Erde verkauft. Hier befindet sich auch die Entwicklung inklusive Labor, ausgestattet mit speziellen, hochpräzisen Messtechnikinstrumenten und angegliedertem Reinraum. Die amcoss-Experten entwickeln und konstruieren hier Anlagen und Komponenten, entwickeln Prozesse, nehmen professionelle Refurbishments vor und wenden Messtechniken an. amcoss arbeitet weltweit mit starken, spezialisierten Partnern zusammen, um hochwertige Komponenten und Lösungen zu entwickeln.
- www.amcoss.com
Wirtschaftlich, präzise und flexibel - amcoss amc 2000+ Spin Coater und Developer mit modernem Design
Text zum Titelbild: Der modulare Aufbau auf kompakten Plattformen und intelligente Features sind typisch für die amcoss-Belacker der amc-Serie
amcoss amc hmds200-Einzelmaschine für die HMDS-Adhäsion für die gleichzeitige Bearbeitung von bis zu 50 Wafern bis 200 mm
