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Die Prozesskette der galvanischen Metallabscheidung

Die elektrochemischen Prozesse auf einer wachsenden Metallschicht werden als sich permanent wiederholende Prozesskette von Keimbildung, Keimwachstum und Keimtod dargestellt. Für jeden Teilschritt können die Geschwindigkeitsgleichungen formuliert werden. Für die Keime kann eine statistische mittlere Lebensdauer angegeben werden. Als Stationaritätsprinzip der mit konstanter Geschwindigkeit wachsenden Schicht wird die Gleichheit der Keimbildungsrate und der Keimsterberate formuliert. Daraus kann eine Beziehung für die Abhängigkeit der mittleren Keimgröße von den experimentellen Parametern abgeleitet werden.

The Process Sequences in Metal Electroplating

Fähigkeiten

Substratmaterial


Schichtmaterial


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