Einsatz des Elektropolierens in der Mikrosystemtechnik
Die Funktionen von Mikrosystemkomponenten können aufgrund der geringen Abmessungen beispielsweise in Form von Gratbildungen durch die mechanische Bearbeitung beeinträchtigt werden. Hier bietet das Elektropolieren eine gute Möglichkeit zur Abhilfe, wobei aber auf exaktes Zeitmanagement zu achten ist, um die Strukturen nicht zu zerstören. Vorgestellt wird das elektrochemische Polieren von kohlenstoffarmen, rostfreien Stählen, Nickelbasislegierungen und Kupferbasiswerkstoffen. Der Einsatz der Verfahren wird an Werkzeugen für die Kunststoffformgebung an zahlreichen Aufnahmen erläutert.
Galvanotechnik, 99 (2008)1, S. 204-211, 17 Abb., 12 Lit.-Hinw. Gietzelt, T.
Use of Electropolishing in Microsystem Technology
On account of the very ?ne tolerances involved, the functionality of microcomponents can be adversely affected by presence of surface ridges or other such features. Electropolishing can be used to mitigate such problems, However very tight process control, mainly in terms of immersion time, must be exercised if the underlying structures themselves are not to be damaged. A case study presents an example, where low-carbon stainless steel is electropolished, as well as nickel-base alloys and those based on copper. Use of this process for plastics moulding tools in long production runs, is shown
Galvanotechnik, 99 (2008)1, S. 204-211, 17 Abb., 12 Lit.-Hinw. Gietzelt, T.
