Einsatz einer aktiven Thermosonde zur Diagnostik von Prozessplasmen
Nahezu alle plasmatechnologischen Anwendungen zur Ober?ächenbearbeitung basiert auf der Plasma-Wand-Wechselwirkung über die sich ausbildende Plasmarandschicht. Eine gute Möglichkeit zur Prozessdiagnostik bieten kalorimetrische Thermosonden zur Messung des Energieeintrages aus dem Plasma auf das Substrat. Der Nachteil dieser Sonden besteht jedoch darin, dass die Energiequelle ausgeschaltet bzw. durch geeignete Blenden abgeschattet werden müssen. Mit einer neuen Technik, bei der keine Kalibrierung notwendig ist und die weitgehend Umgebungsein?üsse sowie die Wärmeableitung der Sonde kompensiert, wird mittels einer geregelten elektrischen Heizung eine vorgegebene Arbeitstemperatur der Sonde eingestellt und die zur Aufrechterhaltung des thermischen Gleichgewichtes zugeführte Heizleistung gemessen.
Galvanotechnik, 99 (2008)6, S. 1502-1507, 5 Abb., 11 Lit.-Hinw. Wiese, R.; Kersten, H.
Use of an Active Thermoprobe in Diagnosis of Plasma Processes
Virtually all technological plasma processes for surface treatment are based on plasma-wall interaction and the effect of the interfacial region at the edge of the plasma. An excellent tool for process diagnosis is the calorimetric thermoprobe, which measures the energy input from the plasma into the substrate. A drawback of such probes, however, is that the energy source must be switched off, or possibly screened using suitable shields, during the measurements. With the latest technology, for which no calibration is required and which largely compensates for external factors including heat conduction by the probe itself, a pre-set operating temperature for the probe is ordained and maintained using a controlled electrically-operated heater. The thermal energy required to maintain this temperature is then measured.
Galvanotechnik, 99 (2008)6, S. 1502-1507, 5 Abb., 11 Lit.-Hinw. Wiese, R.; Kersten, H.
