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Einsatz von Glasloten zur Erzeugung gasdichter Fügestellen beim Aufbau von Drucksensoren

Glaslote sind spezielle Gläser mit einer niedrigen Erweichungstemperatur, die für das Fügen von Gläsern, Keramiken oder Metallen eingesetzt werden. Beim Packaging von Sensoren sind Glaslote von Bedeutung, insbesondere wenn eine hohe Gasdichtheit und Widerstandsfähigkeit gegenüber chemischen Ein?üssen erforderlich sind. In experimentellen Untersuchungen wurde die Gasdichtheit derartiger Glaslotverbindungen quantitativ bestimmt. Die untersuchten Gläser weisen sehr geringe Leckraten auf und sind daher für den Einsatz in Drucksensoren hervorragend geeignet.

Use of Fusible Glasses to Form Gas-Tight Joints in the Construction of Pressure Sensors

Fusible glasses are a special form of glass with low softening-temperatures which can be used for the joining of glass, ceramic or metallic components. They are of special importance in the packaging of sensors where gas-tightness and resistance to chemical attack are essential. Experiments were carried out to investigate the gas-tightness of such joints. The glasses used exhibit a very low leakage rate and are thus ideal for use in pressure sensors.

Fähigkeiten

Substratmaterial


Schichtmaterial


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