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Fertigungsverfahren für großformatige, mikrostrukturierte Formeinsätze
Die Herstellung von Mikrodispensern aus PMMA zur Dosierung von Flüssigkeiten im Bereich von einigen Nanolitern erfolgt mit Formeinsätzen aus Nickel. Ein solcher Formeinsatz besteht aus einem Arrays mit 384 Einzelstrukturen. Die Abmessungen der kritischen Düse des Dispensers liegt bei 100 Mikrometer Durchmesser und einem Aspektverhältnis von bis zu 10. Der Formeinsatz wird durch Umkopieren und galvanischen Aufbau auf einer Substratplatte aus Kupfer erzeugt. Die Nickelstruktur wird aus einem Sulfamatelektrolyten bei 52 °C mit einer Stromdichte zwischen 1,0 und 1,8 A/dm2 aufgebaut.
Galvanotechnik, 99 (2008)6, S. 1518-1527, 16 Abb., 7 Lit.-Hinw. Kaiser, K.; Guttmann, M.; Mehne, Ch.
Manufacturing Processes for Large-Scale, Microstructured Moulds
Production of micro-dispensers made of PMMA for dosing of liquids in the nanoliter range is carried out using nickel moulds. These typically consist of an array of 384 individual structures. The dimension of the critical nozzle of these dispensers is around 100 µm diameter with an aspect ratio of up to 10. The moulds are produced by replication and electroforming over a copper substrate plate. The electrolyte used for the nickel electrodeposition is sulphamate-based, operating at 52 °C and a current density of 1.0 to 1.8 A/dm2.
