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Herstellung von Mikrostrukturen mit hohem Aspektverhältnis durch Mikrozerspanung
Mikrozerspanung ist ein flexibles und schnelles Verfahren zur Herstellung von Prototypen und Kleinserien. Die Zerspanungsleistung liegt deutlich über Verfahren wie Erodieren oder elektrochemischer Bearbeitung. Auch für die Großserienfertigung können auf einfache Weise Abformwerkzeuge realisiert werden. Strukturierbar ist dabei eine breite Palette von Werkstoffen wie Polymere, Metalle und Legierungen sowie einige keramische Werkstoffe. Für Anwendungen in der chemischen Mikroverfahrenstechnik können auch exotische und als schwer zerspanbar geltende Werkstoffe wie Titan, Nickelbasislegierungen und Tantal bearbeitet werden. Um Mikrostrukturen in guter Qualität zu realisieren, sind oftmals einige Anpassung der Zerspanungsstrategie, die Auswahl geeigneter Werkzeuge und Vortests erforderlich.
Galvanotechnik, 98 (2007)6, S. 1504-1513, 23 Abb., 15 Lit.-Hinw. Gietzelt, T.; Eichhorn, L.
Production of Microstructures with High Aspect Ratios by Micro-Machining
Micro-machining is a flexible, high-speed process for manufacture of prototypes or small-run production. The process is significantly faster than alternatives such as spark-erosion or electrochemical machining (ECM). The process also offers a simple approach to the manufacture of moulds for long-run production series. It can be used for a wide range of materials including polymers, metals and alloys as well as ceramic materials. For applications in the field of micro-chemical reactor technology, the process can handle exotic materials and those which are not easy to machine by conventional methods, such as titanium, nickel-based alloys or tantalum. For best results, the most appropriate machining strategy must be selected, and suitable machining tools identified. Preliminary test runs are often worth using.
