Innovative Prozesstechnologien zur Herstellung 2D polymerer Photonischer Kristalle
2D Photonische Kristalle auf Polymerbasis, d.h. periodische Nanostrukturen mit optischer Funktionalität wurden theoretisch mit Hilfe von 2D FDTD Simulationen analysiert. Anhand der daraus resultierenden Ergebnisse wurden Testlayouts erstellt, um die Parameter der einzelnen Prozessschritte für die Röntgenlithographie zu bestimmen. Als alternatives Verfahren zur Herstellung periodischer Strukturen im Submikrometerbereich wird die holographische Lithographie vorgestellt. Ein weiterer Aspekt, der theoretisch untersucht wurde, war die Wellenführung in der dritten Dimension. In Simulationen wurde die Modenausbreitung in asymmetrischen Wellenleitern berechnet. Mit der vertikalen Feldverteilung in solchen Wellenleiter lässt sich die notwendige Porentiefe für 2D Photonische Kristalle, in Abhängigkeit von Materialparametern sowie der gewählten Schichtdicke, bestimmen.
Galvanotechnik, 96 (2005)3, S. 702-708, 10 Abb., 10 Lit.-Hinw. Chrobak-Kando, J.; Achenbach, S.; Dambrowsky, N.; Fettig, R.; Mappes, T.; Mohr, J.; Hermatschweiler, M.; Meisel, D. C.; Wegener, M.
Innovative Process Technologies for Production of 2D Polymeric Photonic Crystals
2D photonic crystals based on polymers, that is, regular nanostructures with optical functionality, were theoretically studied using 2D FDTD simulation software. From the results, test layouts were created in order to examine the individual process steps in X-ray lithography. An alternative method of forming regularly patterned 2D structures on a sub-micrometer scale was identi?ed, namely holographic lithography and this is also described. Also studied, in theoretical terms, was wave conduction in the third dimension. Using simulation, spreading effects in asymmetric waveguides was modelled. Using the ?eld distribution in such waveguides, one can determine the required pore depths for 2D photonic crystals, as a function of materials parameters and layer thickness.
Galvanotechnik, 96 (2005)3, S. 702-708, 10 Abb., 10 Lit.-Hinw. Chrobak-Kando, J.; Achenbach, S.; Dambrowsky, N.; Fettig, R.; Mappes, T.; Mohr, J.; Hermatschweiler, M.; Meisel, D. C.; Wegener, M.
