Kombinierte Fertigung und innovativer Einsatz von mikro- und nanostrukturierten Shim-Formeinsätzen
Durch Kombination von lithographischen Prozessen und Nickelgalvanoformung werden nano- und mikrostrukturierten Shim-Formeinsätze gefertigt, die für neuartige optische oder fluidische Anwendungen eingesetzt werden. Nachfolgend wird ausführlich auf den Fertigungsprozess, die Möglichkeiten und Grenzen der verwendeten Strukturierung mittels Elektronenstrahl-Lithographie sowie auf eine neue Anlagentechnik, die Parameter und die Besonderheiten bei den eingesetzten galvanischen Nickelprozessen eingegangen. Außerdem werden aktuelle Applikationsbeispiele vorgestellt, die durch den Einsatz der Shim-Formeinsätze ermöglicht werden.
Galvanotechnik; 102 (2011)2, S. 394-402, 8 Abb., 23 Lit.-Hinw. Guttmann, M.; Jakobs, P.-J.; Kaiser, K.; Vannahme, Ch.; Zimmermann, L.; Schelb, M.; Matthis, B.; Straus, Ch.; Mappes, T.; Saile, V.
Combined Process Production and Innovative Use of Micro- and Nano-Structured Shim-Form Inserts
Using a combination of lithographic processes and nickel electroforming, nano- and micro-structured shim form inserts can be manufactured for use in novel optical or fluidics applications. This fabrication process is described in detail, as are the possibilities and limits of structuring using electron beam lithography, as well as the latest equipment technology. The process parameters and special features of the nickel electrodeposition here employed are also reported. In addition some actual examples of applications are presented which were made possible by the use of shim-form inserts.
Galvanotechnik; 102 (2011)2, S. 394-402, 8 Abb., 23 Lit.-Hinw. Guttmann, M.; Jakobs, P.-J.; Kaiser, K.; Vannahme, Ch.; Zimmermann, L.; Schelb, M.; Matthis, B.; Straus, Ch.; Mappes, T.; Saile, V.
