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Mikro- und Substrukturparameter von Titannitridschichten auf Stahl, hergestellt mittels reaktiver CFUBMS-Technik
Eine der erfolgreichsten Techniken zur Herstellung Titannitridschichten ist das Closed Field Unbalanced Magnetron Sputtering (CFUBMS). Die durchgeführten Untersuchungen zeigen, dass die Abscheiderate linear mit dem Targetstrom zunimmt. Die Schichten weisen dabei drei mögliche Kristallorientierungen auf. Schichten mit -Orientierung sind über die gesamte Wachstumsphase sehr kompakt, während bei den beiden anderen Orientierungen Poren und Kristallfragmente auftreten. Zudem werden die Schichten während des Wachsens zunehmend inkompakt. Allerdings ist bei diesen Filmen auch eine höhere Mobilität der der Bestandteile festzustellen, die zu einer Relaxation und Verbesserung der Schichtstruktur führt. Die Schichten insgesamt zeigen eine kolumnare Struktur.
Galvanotechnik, 99 (2008)4, S. 956-964, 7 Abb., 15 Lit.-Hinw. Iordanova, I.; Mirchev, R.; Kelly, P. J.; Antonov, V.
Micro- and Substructure-Parameters of Titanium Nitride Coatings on Steel, Formed by the Reactive CFUBMS Method
One of the most successful methods for application of titanium nitride coatings is Closed Field Unbalanced Magnetron Sputtering (CFUBMS). Studies showed that the deposition rate is a linear function of target current. Films thus formed exhibit three possible crystal orientations. Films with orientation are very compact, across the entire growth phase, whereas the other two types exhibit pores and crystalline fragments. In addition, these ?lm types become less and less compact as they grow. However in these types, a greater mobility of the components is found, which results in a relaxation and improvement of the film structure. Overall, these films possess a columnar structure.
