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Thermisch gespritzte Permanentmagnetschichten
Die Miniaturisierung von magnetischen Aktoren ist eine Herausforderung an die Herstellung strukturierbarer magnetischer Schichten mit hoher Energiedichte und Dicken zwischen 20 µm und 1000 µm. Thermische Spritzverfahren sind für die Herstellung hoch qualitativer, dicker Schichten zwar prädestiniert, allerdings konnten bisher die besonders interessanten NdFeB-Schichten (DC-VPS) nicht in ausreichender Qualität erzeugt werden. Das induktiv gekoppelte thermische Hochfrequenzplasma (ICP) bietet wegen seiner besonderen Eigenschaften die Möglichkeit, wesentliche Bedingungen, insbesondere bei der Verformung und Abkühlung der Partikel auf dem Substrat gegenüber anderen Technologien zu verändern. Mit ICP in Inertgas-und Grobvakuum-Atmosphäre konnten dicke NdFeB-Schichten mit guten magnetischen Eigenschaften, geringer Porosität und guter Haftung hergestellt werden.
Galvanotechnik, 99 (2008)9, S. 2272-2275, 2 Abb., 3 Tab., 12 Lit.-Hinw. Dzur, B.; Linke, P.; Zimmer, C.; Thomas, G.
Thermally Sprayed Permanent Magnet Coatings
Miniaturisation of magnetic actuators is a requirement in the manufacture of patternable magnetic layers with high energy densities and thickness from 20 to 1000 µm. In principle, thermally spraying is ideal for this task, although until recently it was not possible to form highly desirable NiFeB coatings (DC-VPS) of sufficient quality in this way. Inductively-coupled thermal high-frequency plasma (ICF), in contrast with other such processes, offers a solution to this problem, on account of its special features, in particular the deformation and cooling of the particles as they impinge on the substrate. Using ICP in either inert gas atmosphere or coarse vacuum, thick NiFeB layers can be deposited with good magnetic properties, low porosity and good adhesion to substrate.
