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Ultrabarriereschichten
Um die Wirkung von dünnen Barriereschichten einschätzen zu können, müssen die Diffusionsgesetze herangezogen und daraus entsprechende Modelle für die Zusammensetzung oder den Aufbau der Schichten entwickelt werden. Unter Einsatz von Niederdruck-RF-Plasmen können auch druck- und temperaturempfindliche Substrate beschichtet werden. Die Schichten für solche Substrate weisen Dicken im Bereich von wenigen Nanometern bis zu einigen Mikrometern auf. Als Precursoren wurden Hexamethyldisiloxan, Sauerstoff und Stickstoff verwendet. Die Schichten selbst lassen sich in Bezug auf Transparenz, Flexibilität, Stabilität, Haftung und Diffusionseigenschaften einstellen.
Galvanotechnik; 102 (2011)1, S. 156-163, 11 Abb., 1 Tab., 11 Lit.-Hinw. Baier, M.
Ultra-Barrier Layers
In order to predict the behaviour of thin barrier layers, the equations governing diffusion must be known. From these, models based on the composition of such layers or their build-up can be developed. Using low pressure RF plasmas, even pressure- and temperaturesensitive substrates can be coated. Such coatings range in thickness from a few nanometres to a few microns. The precursors used were hexamethyldisiloxane, oxygen and nitrogen. The coatings themselves can be tailored in terms of their transparency, flexibility, stability, adhesion and diffusion properties.
