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Vakuumbeschichtung - some like it cold - Teil 2: Raumtemperatur-Beschichtungskonzepte für vielseitige Anwendungen
Mit dem entwickelten Konzept der HybridPLD ist es möglich, gleichzeitig oder schrittweise Sputtern, reaktive Ionenstrahlbeschichtung bzw. Aktivierung und PLD-Beschichtung durchzuführen. Der große Vorteil ist die hohe Haftfestigkeit, die auch bei Raumtemperaturbeschichtung erreicht wird. Die Spannweite der Anwendungsbereiche reicht von der dekorativen, optischen und optoelektronischen Beschichtung über die Herstellung von Sensoren zur Temperaturindikation, dem Verschleiß- und Reibungsschutz, der Werkzeugbeschichtung bis zu den biokompatiblen Beschichtungen für die Medizintechnik.
Galvanotechnik, 96 (2005)9, S. 2208-2216, 5 Abb., 1 Tab., 17 Lit.-Hinw. Lackner, J. M.; Waldhauser, W.
Vacuum Coating - some like it cold -Part 2: Ambient Temperature Coating Concepts for Wide-ranging Applications
Thanks to the practical implementation of the HybridPLD (Pulsed Laser Deposition) concept, one can carry out, either sequentially or simultaneously, sputtering, reactive ion beam plating, activation and PLD coating. The main advantage is the very high coating adhesion, even when the process is carried out at ambient temperatures. The range of potential applications includes decorative uses, optical and optoelectronic coatings, temperature-indicating coatings for sensors, wear-resistant coatings, tool coatings and biocompatible coatings for medical/surgical use.
