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Hochpräzise Positionierung im Raum

Heute ist die Computertomografie (CT) ein etabliertes Verfahren an Synchrotronstrahlungsquellen, um Volumeninformationen über viele Arten von Proben mit Mikrometerauflösung zu erhalten. Tatsächlich ist damit die Untersuchung von flachen, ausgedehnten Mikrosystemen oder planaren Untersuchungsgegenständen aber häufig unbefriedigend, wenn die Probe deutlich größer ist als der Bereich, der für die Untersuchung interessant ist. Die stark variierende Röntgentransmission während eines Scans erzeugt bei der Rekonstruktion vermehrt Artefakte. Diese Einschränkung konnte durch die Einführung einer neuen bildgebenden Analysemethode überwunden werden, die es nun auch ermöglicht, dreidimensionale Darstellungen von flachen, breit ausgedehnten Objekten zu errechnen. Um aussagekräftige Rohdaten zu erhalten, müssen Probe und Detektor allerdings sehr präzise und stabil positioniert werden. Die anspruchsvolle Aufgabe ließ sich mit einem speziell für diese Anwendung entwickelten Positioniersystem lösen.

Fähigkeiten

Substratmaterial


Schichtmaterial


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