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Makroporöse Siliziumträger für multifunktionale Anwendungen
Unter Einsatz der Photolithographie und elektrochemischer Verfahrenstechnik lassen sich in Silizium Poren mit einem relativ breiten Spektrum des Durchmessers im Bereich von einigen Hundert Nanometer bis zu einigen Zehn Mikrometer erzeugen. Durch Ausnutzung der Kristallstruktur des Siliziums entstehen so Porenstrukturen mit einer exzellenten Orientierung und vollständiger Durchdringung der Substrate. Die erzeugten Siliziumträger mit Dicken zwischen 15 µm und 500 µm sowie Durchmessern von 130 mm eignen sich sehr gut zur Trennung unterschiedlicher Stoffe, wie sie beispielsweise in der Medizintechnik benötigt werden.
WOMag 1-2/2018 Göring, Petra
Macro porous silicon as templates for multifunctional applications
Using photolithography and electrochemical processing allows metal deposition into silicon pores over a wide range of diameters from a few hundred nanometres to some tens of microns. By exploiting the crystalline structure of silicon, a pore structure with excellent orientation and complete permeation of the substrate is possible. The resulting silicon carriers with thicknesses between 15 μm and 500 μm with diameters of 130mm are ideal for separation of a range of species, as for example is often the requirement in medical technology.
