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Plasmachemische Oxidation (PCO®) mit asymmetrischen Elektroden

Durch den Einsatz von Wechselstrom lässt sich die Herstellung von Beschichtung durch plasmachemische Oxidation deutlich effizienter durchführen, da beide Elektroden in einem Arbeitsgang beschichtet werden. Auf die sonst übliche Kathode wird hierbei verzichtet. Allerdings erfordert diese eine Steuerung der Ströme auf den in der Regel unterschiedlichen Flächen von zwei geometrisch unterschiedlichen Teilen, um die Stromdichte in dem erforderlichen Arbeitsbereich zu halten. Die Anforderung kann durch eine gerätetechnische Neuentwicklung erfüllt werden.

Fähigkeiten

Substratmaterial


Schichtmaterial


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