Plasma-unterstütztes chemisches Gasabscheidungs-Verfahren mit erhöhter Plasmadichte

PS 10 2012 209 650.7 – C23C 16/50. AT 08.06.2012; OT 12.12.2013; PT 23.10.2014. Anm.: Schunk Kohlenstofftechnik GmbH, 35452 Heuchelheim, DE. Erf.: Reynvaan, Jakob, 8020 Graz, AT, Grünwald, Johannes, 5660 Taxenbach, AT.

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