Verfahren zur Herstellung einer Multilayerschicht und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
EP 503 14 516.5 – C23C 14/00. AT 03.12.2003; OT 18.03.2009; PT 26.09.2012. Anm.: Leybold Optics GmbH, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Scherer, Michael, Dr., 63796 Kahl, DE, Pistner, Jürgen, 63755 Alzenau, DE, Röder, Mario, 63571 Gelnhausen, DE, Hagedorn, Harro, 60435 Frankfurt am Main, DE, Lehrnert, Walter, 63571 Gelnhausen, DE, Deppisch, Gerd, 63743 Aschaffenburg, DE.