Vorrichtung zur Stromversorgung eines CVD-Prozesses bei der Siliziumabscheidung

GM 21 2009 000 165.1 – C23C 16/44. AT 01.09.2009; ET 10.02.2012; PT 05.04.2012. Anm.: AEG Power Solutions GmbH, 59581 Warstein, DE.

Login

• Password vergessen

Noch kein Login?
Jetzt Abonnement abschließen und Zugriff auf Wissensdatenbanken und Premium-Inhalte erhalten.

Sie sind bereits registriert?
Als Benutzernamen verwenden Sie bitte Ihre E-Mail Adresse. Ihr Kennwort aus dem früheren WOMag-Online-Portal ist nicht mehr gültig. Bitte nutzen Sie die PASSWORT VERGESSEN Funktion damit Sie ein neues Passwort setzen können.

Verwandte Artikel

Weitere Unternehmen in der Prozesskette

Verwandte Normen

Verwandte Patente

• Beschichtungsverfahren und Beschichtungsvorrichtung

• Verfahren und System zur Ablagerung mehrere Materialien auf einem Substrat

• Verfahren zur Herstellung einer Mikrostruktur eines Röntgen-Durchstrahlungsgitters für ein Bildaufnahmegerät

• Substrat aus einem polymeren Werkstoff und mit einer wasser- und sauerstoff- undurchlässigen Barrierebeschichtung sowie dazugehöriges Herstellungsverfahren

• Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung der Dicke einer Beschichtung auf einem flachen Metallprodukt

• Verfahren zum Eloxieren von Flächen an metallischen Hohlkörpern

• Oberflächenschicht zur Bildung einer Lauffläche auf einer Zylinderwandung dazu geeignetes Spritzpulver sowie Verfahren zur Erzeugung derartiger Oberflächenschichten

• Verbundmaterialien mit einer Morphologie-beeinflussenden Schicht, Verfahren zu deren Herstellung sowie Verwendung des Verbundmaterials

• Beschichtetes Hartmetall

• Verfahren zum Beschichten eines Substrats, bei dem ein drahtförmiger Spritzwerkstoff in einem Lichtbogen aufgeschmolzen und als Schicht auf dem Substrat abgeschieden wird sowie drahtförmiger Spritzwerkstoff zum Lichtbogendrahtspritzen und lichtbogendrahtg

Links zu diesem Artikel

Werbepartner