Trägerplatte mit einer darauf aufgesetzten gekühlten Rückenplatte
EP 50 2004 013 322.3 – C23C 14/34. AT 19.11.2004; OT 26.03.2008; PT 22.02.2012. Anm.: Applied Materials GmbH & Co. KG, 63755 Alzenau, DE. Erf.: Krempel-Hesse, Jörg, 63683 Eckartsborn, DE, Jischke, Andreas, 63796 Kahl, DE, Schüßler, Uwe, 63743 Aschaffenburg, DE, Wolf, Hans, 63526 Erlensee, DE.