Verfahren zur Behandlung eines Substrats zwecks Korrosionsschutz und Anlage zur Entgasung des dabei verwendeten flüssigen Prozessmediums
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung eines Substrats zwecks Korrosionsschutz, bei dem das Substrat in einem ein Prozessmedium enthaltenden Tauchbad behandelt wird, welches erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet ist, dass das für die Behandlung im Tauchbad vorgesehene Prozessmedium vor, während und/oder nach der Behandlung entgast wird. Dazu kann eine Entgasungsanlage dienen mit einem Entgasungsbehälter, dem das Prozessmedium über eine Zuführleitung vorzugsweise kontinuierlich zugeführt wird. Dieser Entgasungsbehälter weist einen oberhalb des Flüssigkeitspegels liegenden Gasraum auf, an den wenigstens eine Absaugleitung angeschlossen ist, an der ein Unterdruck anliegt. Das Prozessmedium wird vorzugsweise im Entgasungsbehälter ausgebreitet zur Erzielung einer größeren Oberfläche und dann entgast.
PS 102 48 556.9 - C23F 15/00. AT 18.10.2002; OT 29.04.2004, PT 09.07.2015. Anm.: Volkswagen AG, 38440 Wolfsburg, DE. Erf.: Valverde, Ignacio, 38116 Braunschweig, DE; Leschke, Helmut, 38350 Helmstedt, DE; Jattke, Peter, Dipl.-Ing., 38442 Wolfsburg, DE; Hutter, Siegfried, 38524 Sassenburg, DE.