Beschichtungsstruktur und Verfahren zur Herstellung derselben

EP 60 2007 040 319.7 – C23C 28/00. AT 10.05.2007; OT 14.11.2007; PT 25.02.2015. Anm.: Denso Corp., Kariya-city, Aichi-pref., JP. Erf.: Torii, Shinji, c/o DENSO CORPORATION, Kariya-city, Aichi 448-8661, JP, Yanagawa, Keita, c/o DENSO CORPORATION, Kariya-city, Aichi 448-8661, JP, Sugawara, Hiroyoshi, c/o DENSO CORPORATION, Kariya-city, Aichi 448-8661, JP, Asano, Yasushi, c/o DENSO CORPORATION, Kariya-city, Aichi 448-8661, JP.

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