Anordnung zum Temperieren von bandförmigen Substraten
PS 10 2009 058 038.7 – C23C 14/56. AT 14.12.2009; OT 16.06.2011; PT 14.03.2013. Anm.: FHR Anlagenbau GmbH, 01458 Ottendorf-Okrilla, DE. Erf.: Kreher, Sascha, 01219 Dresden, DE, Rudin, Mark, 01257 Dresden, DE, Köhler, Lutz, 01445 Radebeul, DE, Gawer, Olaf, 01328 Dresden, DE.