Verfahren zur Kennzeichnung eines Substrates
PS 10 2011 007 349.3 – C23C 16/52. AT 14.04.2011; OT 18.10.2012; PT 28.03.2013. Anm.: Innovent e.V., 07745 Jena, DE. Erf.: Grünler, Bernd, Dr., 07937 Zeulenroda-Triebes, DE, Schimanski, Arnd, Dr., 99085 Erfurt, DE, Pfuch, Andreas, Dr., 99510 Apolda, DE, Horn, Kerstin, Dr., 07749 Jena, DE, Beier, Oliver, 07407 Rudolstadt, DE.