Verfahren zur Herstellung von kubisches Bornitrid enthaltenden Filmen

WP 60 2009 012 041.7 – C23C 14/34. AT 17.02.2009; OT 09.12.2010; PT 19.12.2012. Anm.: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe-shi, JP. Erf.: Yamamoto, Kenji, Kobe-shi, Hyogo 651-8585, JP, Okimoto, Tadao, Kobe-shi, Hyogo 651-8585, JP.

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