Verfahren zur Beschichtung eines Substrats mit einer TCO-Schicht und Dünnschichtsolarzelle
EP 50 2010 002 698.3 – C23C 14/02. AT 21.10.2010; OT 09.06.2011; PT 27.03.2013. Anm.: VON ARDENNE Anlagentechnik GmbH, 01324 Dresden, DE. Erf.: Graupner, Uwe, 01187 Dresden, DE, Hecht, Hans-Christian, 01689 Weinböhla, DE, Knoth, Thomas, 01277 Dresden, DE, Sturm, Ralf, 01127 Dresden, DE, Dimer, Martin, 01309 Dresden, DE, Thumsch, Martin, 01324 Dresden, DE, Schössler, Tina, 01277 Dresden, DE.