Auf amorphem Kohlenstoff basierende, harte mehrlagige Schicht
PS 10 2007 010 595.0 – C23C 28/00. AT 05.03.2007; OT 08.11.2007; PT 29.08.2013. Anm.: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe-shi, JP. Erf.: Yamamoto, Kenji, Kobe, JP, Matsukado, Katsuhiro, Kobe, JP.
Beschreibung:
Es wird ein Film aus amorphem Kohlenstoff (DLC) mit ausgezeichneter Haftung bei einer hohen Temperatur bereitgestellt. Ein auf amorphem Kohlenstoff basierender, harter Mehrschichtfilm, der auf einer Oberfläche eines Substrats gebildet ist, umfasst eine Grundschicht, gebildet auf einer Substratseite, eine Oberflächenschicht, gebildet auf einer Oberflächenseite, und eine Zusammensetzungsgradientenschicht, gebildet zwischen der Grundschicht und der Oberflächenschicht, wobei die Grundschicht ein Nitrid oder ein Carbonitrid eines Elements M, ausgedrückt durch die folgende Formel, umfasst, die Oberflächenschicht einen Film aus amorphem Kohlenstoff, enthaltend C mit 50 Atomprozent oder mehr, umfasst und die Zusammensetzungsgradientenschicht eine Schicht ist, bei der von der Grundschicht zu dem Film aus amorphem Kohlenstoff das Element M und Stickstoff abnehmen und Kohlenstoff zunimmt: M1-x-yCxNy, worin M mindestens eines ist, ausgewählt aus einem Element der Gruppe 4A des Periodensystems, einem Element der Gruppe 5A, einem Element der Gruppe 6A, Al und Si; und worin x und y die Atomverhältnisse in der Formel angeben und x 0,5 oder weniger ist, y 0,03 oder mehr ist und 1-x-y mehr als 0 ist