Vorrichtung zur Herstellung definierter Eigenschaften von Gradientenschichten in einem System mehrlagiger Beschichtungen bei Sputter-Anlagen.

GM 20 2016 006 483.6 - C23C 14/54. AT 19.10.2016; ET 22.11.2016; PT 29.12.2016. Anm.: Grenzebach Maschinenbau GmbH, 86663 Asbach-Bäumenheim, DE.

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