ZNO-Abscheidungsmaterial und daraus gebildeter ZNO-Film

WP 60 2007 050 074.5 - C23C 14/24. AT 19.04.2007; OT 08.11.2007; PT 08.03.2017. Anm.: Mitsubishi Materials Corp., Tokyo, JP. Erf.: Mayuzumi, Yoshitaka, Naka-shi, Ibaraki 311-0102, JP

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