Verfahren zum Abscheiden einer Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat
Beschreibung: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer transparenten Kratzschutzbeschichtung auf einem Kunststoffsubstrat mittels einer plasmaunterstützten chemischen Dampfabscheidung (PECVD), wobei mindestens ein metallorganischer Precursor und mindestens ein Reaktivgas in eine Vakuumkammer geführt werden, wobei das Plasma mittels eines gepulst betriebenen Magnetrons erzeugt wird und mindestens eine Schicht mit einer über die Schichtdicke stetigen oder sprunghaften Veränderung bezüglich der Schichtzusammensetzung abgeschieden wird.
PS 10 2008 028 537.4 – C23C 16/455. AT 16.06.2008; OT 17.12.2009; PT 29.11.2012. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Bartzsch, Hagen, Dr. rer. nat., 01309 Dresden, DE, Frach, Peter, Dr. rer. nat., 01454 Radeberg, DE, Täschner, Kerstin, Dr., 01189 Dresden, DE, Glöß, Daniel, Dipl.-Phys., 01279 Dresden, DE, Gottfried, Christian, 01219 Dresden, DE, Fahland, Matthias, Dr., 01259 Dresden, DE.