Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung von Substraten

WP 50 2012 005 175.1 - C23C 16/44. AT 09.07.2012; OT 10.01.2013; PT 04.11.2015. Anm.: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 München, DE. Erf.: Reber, Stefan, 79194 Gundelfingen, DE Schillinger, Norbert, 79241Ihringen, DE Pocza, David, 79117 Freiburg, DE Arnold, Martin, 79194 Gundelfingen, DE

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