Hafnium- und Zirkonvorläufer vom Cyclopentadienyltyp und ihre Verwendung bei der Atomlagenabscheidung

WP 60 2006 045 284.5 – C23C 16/40. AT 08.06.2006; OT 14.12.2006; PT 29.04.2015. Anm.: Sigma-Aldrich Co. LLC, St. Louis, Mo., US. Erf.: Williams, Paul, Bromborough Wirral CH62 2AY, GB, Heys, Peter, Crewe Cheshire CW2 6QE, GB, Song, Fuquan, Eastham Wirral CH62 8EX, GB.

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